2022年光刻机龙头股有一览（2022/5/26）
股涨停2022-05-26 09:03:53 举报
光刻机龙头股有：
华特气体：龙头，5月26日开盘消息，华特气体3日内股价下跌2.74%，成交额3947.06万元。
公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等，4种光刻气均为国内唯一供应商﹐通过全球最大的光刻机公司ASML产品认证。
芯源微：龙头，5月26日消息。成交量0手，总市值为107.99亿元。
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。
大族激光：大族激光(002008.SZ)5月27日在投资者互动平台表示，公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，已实现小批量销售。
智光电气：公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。
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